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形態観察・分析サービス

概要

 試料の状態を『観る』ということは様々な分析・評価法の中で最も基本的なことであり、また、とても多くの情報を得ることができます。観る手段として使用される顕微鏡にも多くの種類があり、それぞれ対応できる倍率や特徴があります。そのため、対象となる材料の素材や目的、想定される状態などによって使い分けます。

立会い分析ができます。

  • ♦ 画像を見ながら撮影、分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
  • ♦ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
  • ♦ 画像データはその場でお持ち帰りいただくこともできます。

1000倍程度までの各種材料の観察、断面観察、測長などを行います。

デジタルマイクロスコープ

  • ♣ 各種工業製品や生体材料、生物などを低倍率から観察することができます。
  • ♣ 開放利用機器としてご使用いただけます。

マクロ撮影イメージングシステム

  • ♣ 各種工業製品や生体材料、生物などを1倍以下から観察することができます。
  • ♣ 金属材料のマクロ組織観察
  • ♣ 金属材料の破断面のマクロ観察

金属顕微鏡

  • ♣ 断面試料作製および金属組織観察、撮影
  • ♣ 金属材料の破面観察
  • ♣ 錆び、腐食による金属組織観察、撮影、評価

電子顕微鏡を用いて高倍率での各種材料の観察、断面観察、測長などを行います。

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

  • ♣ 微小領域の表面・断面観察
  • ♣ 金属材料の破面観察
  • ♣ 微小領域での局所分析

電界放出型走査透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)

  • ♣ ナノサイズの超高分解能観察
  • ♣ 2台のEDS検出器を搭載
  • ♣ STEM/EDS分析によるオーバーラップする特性X線ピークの面分析

集束イオンビーム装置(トリプルビームFIB)

  • ♣ 微細領域の断面加工・SIM像観察
  • ♣ FE-SEMによるリアルタイムでの加工箇所の高分解能観察
  • ♣ EDSによるリアルタイムでの加工箇所の局所分析
  • ♣ Arイオンミリングによる高品位TEM観察試料作製(FIBダメージ層の除去)

オスミウムコーター

SEM、FIBでの観察用試料に導電皮膜を形成させる機器
ナノレベルの微粉末および微細な構造を有する材料(例:多孔質樹脂)などの観察に対応

周辺装置

レーザーマーカ

微細加工、観察時の位置確認用マーキング

TEM試料作製装置

イオンミリング装置 ⇒ TEM試料の薄片化
精密イオン研磨装置(LINDA ジェントルミル) ⇒ FIBによる試料ダメージ層の除去専用装置
クライオシステム付属ミクロトーム ⇒ ダイヤモンドナイフ切削による顕微鏡観察用試料の作成装置(クライオシステムにより、ゴムやウレタンなどの粘弾性試料にも対応)

その他

マイクロフォーカスX線検査装置

  • BGA、CSP、デバイスなどの内部に存在する亀裂や欠陥を非破壊で観察

高度計測センター
TEL:044-819-2105  FAX:044-819-2108
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