TEM/EDS観察分析

電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）

概要

• ♠ 数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。
• ♠ EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。
• ♠ 電子線回折や暗視野像からは試料の結晶情報が得られます。

装置

特長

• ♣ 2台のEDSを搭載することで、X線分析の収集効率と精度が格段に向上し、これまでより短時間に詳細な分析が可能です。
• ♣ 従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
• ♣ HAADF-STEM像（高角度散乱暗視野像）での像強度は原子番号の二乗に比例するため、軽い原子と比較して重い原子が選択的に観察できます。

立会い観察分析も可能です。

応用例とその試料調整法

• ♣ プラスチック中の微細添加物の分析 → ミクロトーム法
• ♣ カーボンナノチューブの高分解能観察 → ふりかけ法
• ♣ 金属の結晶構造（格子像）観察 → 電解研磨法
• ♣ 光ディスクの断面観察 → FIB加工
• ♣ 化合物半導体の高分解能観察 → FIB加工 - 低加速イオンミリング法

STEM/EDS分析による重なり合う特性X線の面分析

従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。