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TEM/EDS観察分析

電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)

概要

  • ♠ 数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。
  • ♠ EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。
  • ♠ 電子線回折や暗視野像からは試料の結晶情報が得られます。

装置

装置 機器名/仕様
FE-TEM トプコンテクノハウス EM002BF
・格子分解能 : 0.10nm
・観察モード : 明視野像、暗視野像、高分解能像
EDS(エネルギー分散型X線分析装置) サーモフィッシャーサイエンティフィック
NORAN System SIX(検出器2台装備)
・最小分析領域 : 0.3nm
STEM トプコンテクノハウス ASD-2B2
・観察モード : 明視野像、暗視野像、HAADF

受託分析料金

開放機器利用料

装置一覧

特長

  • ♣ 2台のEDSを搭載することで、X線分析の収集効率と精度が格段に向上し、これまでより短時間に詳細な分析が可能です。
  • ♣ 従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
  • ♣ HAADF-STEM像(高角度散乱暗視野像)での像強度は原子番号の二乗に比例するため、軽い原子と比較して重い原子が選択的に観察できます。

立会い観察分析も可能です。

 
♦ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♦ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♦ 画像データはその場でお渡しできます。

 FIBによるTEM試料加工についてはこちら

  • ♥ FIBにFE-SEMを搭載、高倍率観察による精密加工に対応。
  • ♥ FIB加工後に低加速Arイオンミリングでのクリーニング対応。
       加工時のダメージ層除去により、高品位なTEM観察試料作製が可能です。
  • ♥ 最大200mm試料面内の特定箇所からのTEM試料作製が可能。

応用例とその試料調整法

  • ♣ プラスチック中の微細添加物の分析 → ミクロトーム法
  • ♣ カーボンナノチューブの高分解能観察 → ふりかけ法
  • ♣ 金属の結晶構造(格子像)観察 → 電解研磨法
  • ♣ 光ディスクの断面観察 → FIB加工
  • ♣ 化合物半導体の高分解能観察 → FIB加工 - 低加速イオンミリング法

STEM/EDS分析による重なり合う特性X線の面分析

従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。

解析例

LSI コンタクトホールの2方向観察

LSIコンタクトホールのTEMマッピング

ナノ粒子の透過電子顕微鏡観察

マグネタイト粒子の透過電子顕微鏡観察

透明導電膜の透過電子顕微鏡解析

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