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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)

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概要

走査型プローブ顕微鏡（SPM：Scanning Probe Microscope）は、先端を鋭く尖らせたシリコン製のプローブを用いて、サンプルの表面を、細かく規則的に走査することによって、測定領域を512×512ポイントの表面形状のデータで取得し、コンピュータ処理により立体的な凹凸像として表示することができます。

ナノメーターオーダの観察から、微小な表面粗さの数値化が可能ですので、微小な粗さの比較や、微小な段差、傷等の寸法計測も可能であり、原子、分子等のステップの観察も可能です。また、特殊なプローブを用いることにより、試料表面磁気情報等も観察することができます。