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SEM観察・EDS分析

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

概要

 最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。
 
 検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

 

装置

装置 機器名
FE-SEM 日本電子(株) JSM-7800F Prime
 分解能:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、
       3.0nm(5kV、WD10mm、5nA)
 検出器:上方検出器(UED)、上方二次
       電子検出器(USD)、下方検出器
       (LED)、反射電子検出器(BED)
 試料交換サイズ:100mm径(最大)
EDS  サーモフィッシャーサイエンティフィック
NORAN System 7
その他 STEM観察、低真空観察、GB観察
分析モード 点分析、線分析、面分析
分析対象元素 B~U
二次電子像

特長

・ 光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が
  行えます。
・ 80倍から50万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・ 付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・ 低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で
  観察できます。
・ STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・ GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察
  することができます。

 

受託分析料金

装置一覧

 

立会い観察分析も可能です。

♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確
  に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を
  得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

応用例とその試料調製法

・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
 

測定事例

【磁気フィルム】  
二次電子像 二次電子像
組成像 EDS面分析
   
 【粘着テープ】
Sn
低真空無蒸着観察
 
 【金属担持酸化チタン】
Sn
低加速電圧観察

解析例

  TiO2ナノチューブの電子顕微鏡観察

  イオンミリングを活用しためっき層のSEM観察

  ミクロトームを活用したHIPS(耐衝撃性ポリスチレン)のSEM観察

高度計測センター
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