財団法人神奈川科学技術アカデミー

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表面・成分分析サービス

 表面分析は試料表面の数分子層(数nm)を分析対象とし、その他の分析は深さ方向数ミクロンオーダーの分析を行います。表面分析ではイオンスパッタリングと併用することにより、多層膜や付着物の深さ方向分析も行うことができます。
分析を行うために、X線、イオン、電子、赤外線を入射しますが、それぞれ特徴があり、目的により使い分けることが必要です。

分析機器

高度計測センターに設置されている表面・成分分析装置の比較
装置 µ-XPS
µ-ESCA
SAM FT-IR XRF XRD
1次ビーム X線 電子 赤外線 X線 X線
検出信号 電子 電子 赤外線 X線 X線
分析広さ 9µm~1.5mm 1µm~ 数10µm~ 200µm~
3mm
数mm~
分析深さ 数nm 数nm 数µm 数µm~
数10µm
数10µm
深さ方向の
分解能
数nm 数nm
絶縁物測定 可能 困難を
ともなう
可能 可能
可能
分析可能
元素、情報
Li ~ U Li ~ U
Mg~U
(Heパージ使用時 Na~U)

分析情報 化学結合状態 元素情報のみ 主に有機物の構造 元素情報のみ 結晶構造を持つ化合物定性
画像 可能 可能 可能
※スパッタリングを併用することにより深さ方向分析が可能

高度計測センター
TEL:044-819-2105  FAX:044-819-2108
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