微小蛍光Ｘ線分析装置（XRF）

概要

  蛍光Ｘ線(XRF)分析装置は、試料にＸ線を照射し発生する蛍光Ｘ線を測定することで元素の確認（定性）や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量（半定量）を得ることができる装置です。

  金属，半導体，有機物及びセラミックスとあらゆる固体に対応でき、元素情報を得るための入り口的な装置として、中小企業から大企業の多種多様なニーズに対応できる装置です。

原理

仕様

本装置の特徴

• ♦ 大きい試料も非破壊で測定    　　⇒  最大試料サイズ：450×580×150 mm
• ♦ 微小からバルクまでの分析領域  ⇒  ビームサイズ：200μm，500μm，1.2mm，3mm
• ♦ 広範囲の高速マッピング    　　　　⇒  最大マッピング面積：250×200mm

測定事例 ：メモリー基板のマッピング分析

試料像	マッピング重ね合せ：赤（Cu），緑（Ag），青（Pb）

高度計測センター
ＴＥＬ：044-819-2105  ＦＡＸ：044-819-2108