公益財団法人神奈川科学技術アカデミー

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イオンミリングを活用しためっき層のSEM観察

 

事例

Au/Ni/Cu(母材)の各層の膜厚やピンホール等の
断面構造を知りたい

 

 

使用機器

高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM)
断面試料作製用イオンミリング装置

 

 

測定例

試料:Au/Niめっき/Cu母材
SEM分解能:2nm@1kV
測定例の画像
目的に対し前処理が不十分だと必要な情報が得られない
 

応用例

応用例の画像

ピンホール数の個数

307,200nm2中、約130個のピンホールが存在

観察において前処理は重要な工程 → 正しい情報を捉えることで様々な評価が可能
 

納期予定

サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。 

 

利用料金項目

項目 単位 数量
試料前処理

処理時間30分につき

4
断面試料作製用イオンミリング装置

1試料につき

1
分析走査電子顕微鏡(FE-SEM)
 観察倍率 5万倍未満

1試料1視野観察につき

1
同一試料において1視野追加観察につき 1
※定量評価については別途相談。

高度計測センター
TEL:044-819-2105  FAX:044-819-2108
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