公益財団法人神奈川科学技術アカデミー

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透明導電膜の透過電子顕微鏡解析

 

事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしたい。

 

使用機器

高分解能分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)
集束イオンビーム装置(FIB-SEM)
低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)

 

測定例

透明導電膜のTEM観察像
 

納期予定

サンプル到着後、1週間から10日で結果速報。

 

利用料金項目

項目 単位 数量
試料調製
 FIB-マイクロプロービング法
1試料つき 1
低エネルギーイオンミリング
 (ジェントルミル)
1試料1条件につき 1
分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)
 倍率 50万倍以下
1視野つき 1
分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)
 倍率 200万倍以上
1視野つき 1
試料傾斜調整 1条件ごとに 1

高度計測センター
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