教育情報センター
【終了しました】
マイクロマシン・MEMS研究の最新動向
コース
〜 基礎技術から応用製品まで 〜
■ 開講期間 : 平成18年7月4日(火)〜7月7日(金) 計4日間 <1日単位の受講可>
カリキュラム編成者からのメッセージ
今回のカリキュラムは、マイクロマシン・MEMS・ナノ加工の基礎から、様々の応用に至るまで、広く包括的に学べるように工夫しました。半数の講師は大学の研究者で、体系的かつ基礎的な知識について講義します。また、企業でマイクロマシンの製品化に携わっている研究者も講師として招き、センサ・光通信・無線・バイオ化学などの分野における製品化の経験や実用化の観点から見たマイクロマシン技術の様々な側面を学んでいただきます。
むろん、個々のテーマについて、より堀り下げた知識を得るには参考文献等を参照して戴く必要が あります。しかし、どこで情報が得られるか分からない、何を読めば良いか分からない、読んでもプロセスやデバイスに関する技術用語が分からない、最新の技術でどんなことが出来るか知らない、といった場合に、このコースを受けることによって、本の「目次」や「索引」にあたる知識を身につけることが出来るはずです。また、講師の方々はマイクロマシンの一線の研究者ばかりですので、その方々の面識を得て、生の意見を聞きご自身の関心に合わせた質問をする機会があります。これらを十分に生かしていただきたいと思います。
東京大学生産技術研究所 教授
マイクロメカトロニクス国際研究センター長 工学博士 藤田 博之
■主催

(財)神奈川科学技術アカデミー
■共催

(社)電気学会センサー・マイクロマシン準部門
■後援(一部申請中)

(社)電気学会、(社)精密工学会、(社)応用物理学会、(社)計測自動制御学会、化学とマイクロシステム研究会、 (社)ロボット学会、(社)電子情報通信学会、(社)日本化学会、(社)高分子学会、(社)化学工学会、日本分析化学会、日本生体医工学会、
(社)電気化学会、(社)、日本医科器械学会、(社)日本製薬工業協会、(社)日本セラミックス協会、(社)未踏科学技術協会
■開催場所
かながわサイエンスパーク(KSP)西棟内研修室(神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1)
JR南武線「武蔵溝ノ口駅」・東急田園都市線「溝の口駅(東口)」下車
■募集人員(対象者)

25名(研究者・技術者・研究企画担当者 マイクロマシンの基礎と応用に興味のある方。)
半導体プロセス、電気工学、機械工学の基礎知識があると、説明の詳細までより良い理解が可能。しかし、工学一般に関する知識があれば、大筋の理解が可能である。また、特定の応用分野についての知識があり、そこにマイクロマシンをどう利用するかという観点からの受講も歓迎する。
■お申込み・お問い合わせ

教育情報センター 教育研修グループ
TEL : 044-819-2033 FAX : 044-819-2097 E-mail : ed@newkast.or.jp
■受講料(消費税込)

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KAST法人賛助会員 及び 神奈川県関係割り引き |
| 区 分 |
A.
一般
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B.
KAST法人賛助会員
C.
神奈川県内中小企業
(本社又は事業所が県内にあり、資本金が3億円以下、また企業全体の従業員が300名以下の企業)
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D.
C以外の神奈川県内企業
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E.
神奈川県内在住で個人でのお申し込みの方
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| 全日程 |
¥60,000- |
¥48,000- |
¥54,000- |
| 1日受講 |
¥19,000/日 |
(応募者数が大幅に定員を超えた場合は抽選となります。また、抽選にあたっては、全日程を受講される方を優先します。)
■カリキュラム内容および日程
・7月4日(火)
| 9:30〜12:30 |
概論
マイクロマシン・MEMS技術に関し、発展の歴史、特徴、各種デバイス及び様々な応用システムについて概説する。またナノテクノロジーとの関連についても述べる。
東京大学生産技術研究所
マイクロメカトロニクス国際研究センター 教授 藤田 博之 |
| 13:30〜17:30 |
マイクロマシーニング −製作技術−
半導体微細技術に基づくマイクロ・ナノ加工について、シリコンとその他の材料の立体微細構造の作り方を概説する。またMEMSデバイスの性能を最大限に引き出すためのパッケージングや電子回路との集積化法についても述べる。
東北大学未来科学技術共同研究センター 教授 江刺 正喜 |
・7月5日(水)
| 9:30〜12:00 |
MEMS物理センサ
加速度センサ、ジャイロ、圧力センサなどMEMS物理センサは、自動車用を中心に広く実用化されている。原理から実用化に当たっての留意点に至るまでを紹介する。
兵庫県立大学大学院 工学科 助教授 前中 一介 |
| 13:00〜13:50 |
MEMSセンサの実用化
物理センサや赤外線イメージャーなど様々のMEMSセンサの実用化事例を紹介する。
三菱電機(株) 先端技術総合研究所 センシング技術部 番 政広 |
| 14:00〜14:50 |
RF−MEMS
MEMS技術を用いたRFスイッチ、可変L/C素子、GHz帯振動子が注目されている。RF-MEMSの動向と実用化への取り組みを紹介する。
オムロン(株) 技術本部 先端デバイス研究所 佐々木 昌 |
| 15:00〜16:00 |
MEMS向きCAD
CADソフトウェアの活用により、試作回数を削減し、開発時間のコストを削減できる。NEDOの助成で開発中のMemsONE-CADの機能と適用例を紹介する。
京都大学 大学院工学研究科 教授 小寺 秀俊 |
| 16:10〜17:20 |
医療用マイクロマシンとMEMSファンダリーサービス紹介
新しい医療用マイクロマシンの研究開発と、マイクロマニシング加工サービスを広く提供するMEMSファンダリーについて、ネットワーク組織を含めた日本の現状を中心に紹介する。
オリンパス(株) 未来創造研究所 三原 孝士 |
| 17:30〜18:30 |
交流会 |
・7月6日(木)
| 9:30〜11:30 |
光MEMS
光MEMSの基礎原理と設計の考え方から、種々の応用デバイスを紹介する。また、フォトニック結晶などナノテクノロジーとの融合を目指す将来動向についても論ずる。
九州大学大学院 工学研究院 教授 澤田 廉士 |
| 11:40〜12:20 |
光MEMSの実用化 (1)光スイッチ
光通信用の大規模光クロスコネクト用途に有望である3次元光スイッチの開発事例を紹介する。
(株)富士通研究所
ストレージ・インテリジェンスシステム研究所 山岸 文雄 |
| 13:20〜13:50 |
光MEMSの実用化 (2)可変減衰器
光通信ネットワークの様々の部分で、高速、公安定の可変減衰器が必要である。MEMS技術を用いた超小型減衰器の開発事例を紹介する。
サンテック(株) 製品開発部 諌本 圭史
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| 14:00〜15:00 |
ナノテク応用
ナノ材料を取り込み、MEMSの中で生かすことで新しいMEMSデバイスやシステムに発展しようとしている。本分野の最新の成果を紹介する。
香川大学 工学部 教授 橋口 原 |
| 15:10〜16:10 |
パワーMEMS
液体燃料が持つ高いエネルギー密度を生かして、超小型で高出力のエネルギー源を作ることが期待されている。MEMSを用いた超小型燃料電池、超小型ガスタービン等の研究を紹介する。
東北大大学院 工学研究科 助教授 田中 秀治 |
| 16:20〜17:20 |
超小型ロボット
MEMS技術とロボット技術を融合することにより、医療用や精密加工・計測用、パイプ・メンテナンス用など超小型ロボットの実現が期待される。
電気通信大学 知能工学科 教授 青山 尚之 |
・7月7日(金)
| 10:00〜12:00 |
マイクロ化学チップ
数ミクロンからサブミクロン程度の微小流路中で、混合・抽出・反応・分離・分析など種々の化学操作を実現し、手のひらに乗る化学プラントを目指す研究を紹介する。
東京大学 大学院工学系研究科 教授 北森 武彦 |
| 13:00〜14:00 |
DNA分析チップ
DNAの高速分析を可能とするキャピラリー電気泳動チップの商品化例について、構造と性能について紹介する。
(株)島津製作所 基盤技術研究所 中西 博昭 |
| 14:10〜15:10 |
医用検査用バイオチップ
MEMS技術を臨床検査の分野に応用することにより、小型で使いやすい医用検査チップを実現することが可能となる。高分子加工技術などを用いた血液成分分析用デバイス、遺伝子検査用チップなどの研究例を紹介する。
(独)物質材料研究機構 生体材料研究センター 宮原 裕二
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| 15:20〜17:20 |
バイオMEMS
MEMS技術で作る微細流路、電極、マニピュレータなどを用いてDNA分析、タンパク解析を行う研究開発の現状を概説する。
東京大学大学院 工学系研究科 教授 鷲津 正夫 |
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